特許
J-GLOBAL ID：200903003854684439
スラリー混合装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296432
公開番号（公開出願番号）：特開平11-207604
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】【課題】 スラリーが、研磨ツールから離れた位置で混合され、これによって、作動させている必要のない、いくつかのツールにスラリーを分配できるようにした装置及び方法を提供する。【解決手段】 スラリー濃縮物からスラリーを製造する装置及び方法において、スラリー濃縮物の流れと、脱イオン水の流れと、酸化剤の流れとが、圧送されて、3つの圧送流が形成される。3つの圧送流は、一緒になって混合物が形成される。静的なミキサーや特別設計のインラインミキサーのような装置30によって、均質性が前記混合物内で増進される。その結果、均質性を有する流れが、分配ポンプにより分配圧力で圧送されて、分配流が生成される。分配流の一部、好ましくは50パーセントは、再循環して合流点26に戻される。合流点26で、圧送流は結合し、これによって、スラリーの均質性はさらに増進する。
請求項（抜粋）：
スラリー濃縮物からスラリーを製造するためのスラリー製造装置であって、前記スラリー製造装置は、前記スラリー濃縮物を圧送するための第1のインレットポンプと、脱イオン水を圧送するための第2のインレットポンプと、酸化剤を圧送するための第3のインレットポンプと、前記第1のインレットポンプと前記第2のインレットポンプと前記第3のインレットポンプとに接続され、前記スラリー濃縮物と脱イオン水と酸化剤とを互いに接触させて、混合物を形成する合流点と、前記合流点に接続され、前記混合物の均質性を増進させ、それによって、前記スラリーを形成する少なくとも1つの混合装置と、前記少なくとも1つの混合装置に接続され、前記少なくとも1つの混合装置から前記スラリーを圧送するアウトレットポンプと、前記アウトレットポンプに接続された流れネットワークとを備えており、前記流れネットワークは、前記スラリーの流れを分配流と再循環流とに分けるための分配脚部と再循環脚部とを有しており、前記再循環脚部は、前記再循環流を前記混合装置に供給するできるように、前記合流点に接続されており、前記再循環脚部は、前記第1のインレットポンプによって前記スラリー濃縮物に付与され前記第2のインレットポンプによって脱イオン水に付与され前記第3のインレットポンプによって前記酸化剤に付与された圧力まで、前記分配圧力を下げるための減圧弁を備えていることを特徴とするスラリー製造装置。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, B24B 57/02
, H01L 21/304 622
B24B 37/00 H
, B24B 57/02
, H01L 21/304 622 D
