特許
J-GLOBAL ID：200903042343155808
試料アライメント方法およびX線測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151588
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338059
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 作業性に優れかつ短い作業時間で高精度な試料アライメントを実現する。【解決手段】 試料面にX線を照射し、該試料面から反射してくる反射X線を所定の角度位置で検出するように前記X線検出器を固定する。次いで、試料の回転角φを任意の回転角φnに設定し、試料のあおり角ωを調整してX線検出器が反射X線を検出したときのあおり角ωnを測定する。この操作を異なる回転角φnにて少なくとも3回繰り返す。この操作で設定した回転角φnおよび測定したあおり角ωnを用いて、回転角φおよびあおり角ωと所定の基準面に対する試料面の傾きとの間の関係に基づき試料面の傾きを求め、その傾きを補正する。
請求項（抜粋）：
試料面内での試料の回転角φおよび試料面へのX線入射角θを決定するための試料のあおり角ωをそれぞれ調整する機能を有するとともに、X線源から試料に向けて入射角θでX線を照射したとき、試料面から反射してくる反射X線をX線検出器で検出する機能を備えたX線測定装置において、次のイ乃至ニの操作を含むことを特徴とする試料アライメント方法。イ.試料面にX線を照射し、該試料面から反射してくる反射X線を所定の角度位置で検出するように前記X線検出器を固定する。ロ.前記回転角φを任意の回転角φnに設定し、前記あおり角ωを調整して前記X線検出器が反射X線を検出したときのあおり角ωnを測定する。この操作を異なる回転角φnにて少なくとも3回繰り返す。ハ.前記ロの操作で設定した回転角φnおよび測定したあおり角ωnを用いて、回転角φおよびあおり角ωと所定の基準面に対する試料面の傾きとの間の関係に基づき試料面の傾きを求める。ニ.前記ハの操作で求めた試料面の傾きを補正する。
Fターム (20件)：
2G001AA01
, 2G001BA15
, 2G001DA02
, 2G001EA09
, 2G001FA02
, 2G001FA18
, 2G001GA03
, 2G001GA04
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001JA06
, 2G001JA07
, 2G001JA11
, 2G001JA20
, 2G001KA08
, 2G001KA20
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA14
, 2G001QA01
