表示パネルの吸着テーブル

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222760
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050248
出願日： 1995年08月09日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】吸着テーブルの載置面に、大気に常に連通する空気溝を形成して、表示パネルを載置面から持ち上げるときに負荷が小さくなるようにし、また、その際の静電気発生を少なくする。【解決手段】吸着テーブル22の載置面24に、液晶表示パネルを吸着保持するための吸着溝26と、常に大気に連通している空気溝28とが形成されている。空気溝28は、同心の多数の矩形の溝からなり、吸着溝26が形成されていない載置面領域のほぼ全てをカバーするように形成されている。空気溝28を構成するそれぞれの矩形の溝の4個の頂点に相当する部分には、それぞれ空気流入通路32が連通している。空気流入通路32の他端は大気に連通している。載置面24の対角線上には4本の突き上げピン34が昇降可能に挿入されている。この突き上げピン34で液晶表示パネルを載置面24から持ち上げるときには、空気溝28から載置面24上に空気が流入する。

請求項（抜粋）：

電気回路が形成された表示パネルを負圧によって吸着保持する吸着テーブルにおいて、次の構成を備える吸着テーブル。(イ)表示パネルを吸着保持する載置面。(ロ)吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が負圧源に連通可能であり、他端が前記載置面に開口している負圧供給通路。(ハ)前記載置面に開口していて、載置面に沿って延びている空気溝。(ニ)吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が大気に連通しており、他端が前記空気溝に連通している空気流入通路。

IPC (4件)：

G09F 9/00 352 , G01R 31/00 , G01R 31/28 , G02F 1/13 101

FI (4件)：

G09F 9/00 352 , G01R 31/00 , G02F 1/13 101 , G01R 31/28 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

液晶ディスプレイ基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-241042 出願人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド, 石川島播磨重工業株式会社
シート材剥離方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-024450 出願人：富士写真フイルム株式会社
基板ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-272151 出願人：株式会社ニコン

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