特許
J-GLOBAL ID：200903042364198949
光導波路素子およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192710
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047271
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】本発明は、低駆動電圧特性と低伝搬損失特性を同時に解決できる光導波路素子構造およびその作製方法を提供することを目的とする。【解決手段】膜厚300nmのSrTiO3バッファ層4および膜厚300nmのSrTiO3クラッド層3を有するプリズム型EO偏向素子へ、レーザ光源9で633nmの波長のレーザ・ビーム6を生成し、レンズ10でこれを幅1mmにコリメートした後、PZT薄膜光導波路1へ入射プリズム5を介して導入する。入射したレーザ・ビーム6は下部NbドープSrTiO3基板電極2とプリズム型上部Al電極7の間に電圧を印加することによりプリズム電極下の部分とそれ以外の部分において異なる屈折率が発生し、レーザ・ビームが偏向される。偏向されたレーザ・ビーム6は端面からの出射ビーム8として出射される。
請求項（抜粋）：
導電性または半導電性の下部電極となる単結晶基板と、前記単結晶基板表面に形成されたエピタキシャルまたは単一配向性のバッファ層と、前記バッファ層上に形成されたエピタキシャルまたは単一配向性の強誘電体薄膜の光導波路と、前記光導波路上に形成されたクラッド層と、前記クラッド層上に形成された上部電極となる金属薄膜とを備えたことを特徴とする光導波路素子。
Fターム (17件)：
2K002AA01
, 2K002AA02
, 2K002AA03
, 2K002AB04
, 2K002AB07
, 2K002BA06
, 2K002CA03
, 2K002DA05
, 2K002EA11
, 2K002EA16
, 2K002EB04
, 2K002EB05
, 2K002EB11
, 2K002FA08
, 2K002FA30
, 2K002GA07
, 2K002HA03
