特許
J-GLOBAL ID：200903042441152400
磁気記録媒体の製造方法および装置
出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社
富士写真フイルム株式会社 について
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-255688
公開番号（公開出願番号）：特開平10-105965
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 蒸着により磁気記録媒体を製造する真空蒸着装置において、製造される磁気記録媒体の磁気特性、電磁変換特性、耐久性を優れたものとする。【解決手段】 冷却キャン4の下方に、磁性材料10を収容した蒸発容器11が配設され、この蒸発容器11の周囲には磁性材料10を加熱するための高周波誘導加熱コイル12が配設される。さらに磁性材料10が蒸発して生じる蒸気流が通過する経路を、その周壁が囲うように蒸気拡散制御壁15が設けられ、さらに蒸気流が冷却キャンに沿って搬送されるベースフイルム3に入射する角度を規制する入射角規制用のマスク13および14が設けられる。さらに蒸気拡散制御壁15の近傍に酸化性ガスを蒸気流に向けて吹き付ける第2のガス吹付部16と、入射角規制用のマスク14の近傍に酸化性ガスをベースフイルム3に向けて吹き付ける第1のガス吹付部17を設けて、蒸気流に酸素を豊富に吹き付けることにより、ベースフイルム3に蒸着される磁性薄膜の磁気特性等が向上せしめられる。
請求項（抜粋）：
真空雰囲気中で、長尺の可撓性基板を搬送するとともに、前記基板が搬送される経路の下方に配設された磁性材料からなる蒸発源を加熱して、前記磁性材料を蒸発せしめ、前記蒸発源と前記可撓性基板との間に設けた、前記磁性材料の蒸発によって生じる蒸気流の拡散方向を規制制御する蒸気拡散制御手段中を通過させるとともに、該蒸気流の前記可撓性基板への入射角度を規制する入射角規制手段を設けて前記蒸気流の指向性を制御しつつ、該蒸気流を前記可撓性基板表面に蒸着させて、磁性薄膜を形成せしめる磁気記録媒体の製造方法において、前記可撓性基板に付着しつつある前記蒸気流に向けて、少なくとも酸化性のガスを含むガスを吹き付けるとともに、前記蒸気拡散制御手段から前記可撓性基板へ向けて飛散する前記蒸気流に向けて、少なくとも酸化性のガスを含むガスを吹き付けることにより、前記磁性薄膜中の深さ方向の酸素含有量を制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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