小型電子銃

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-111682
公開番号（公開出願番号）：特開2005-108806
出願日： 2004年04月06日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

【課題】電子顕微鏡、電子描画装置等の電子銃において、小型で高真空維持が達成可能な電子銃を提供する。【解決手段】非蒸発ゲッターポンプ、加熱ヒータ、フィラメント、電子源位置決め機構により構成される電子銃において、粗引き用開口とその自動開閉バルブと、非蒸発ゲッターポンプ用の不活性ガス/化合物ガスの電離分解手段を設ける。【効果】高さ、幅とも15cm程度の小型電子銃を用いて電子銃から電子を放出した状態で、イオンポンプを必要とせず、10-10Torrの高真空維持を達成できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子源と、該電子源を保持する真空容器と、該真空容器の内部に設けられたゲッターポンプと、前記真空容器の内部を粗引きするための開口部と、前記ゲッターポンプの加熱手段と、前記電子源の動作中に発生するガスを分解する手段とを有することを特徴とする電子銃。

IPC (1件)：

H01J37/18

FI (1件)：

H01J37/18

Fターム (4件)：

5C033KK02 , 5C033KK03 , 5C033KK06 , 5C033KK09

引用特許：

出願人引用 (6件)

荷電粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-366223 出願人：株式会社日立製作所
米国特許4,833,362号
電子光学鏡筒および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-258547 出願人：株式会社東芝

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審査官引用 (5件)

電子光学鏡筒および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-258547 出願人：株式会社東芝
X線管
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-041800 出願人：株式会社日立メディコ
電界放射型電子銃
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-158358 出願人：株式会社日立製作所

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