特許
J-GLOBAL ID：200903042674650957
圧電薄膜共振子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-182196
公開番号（公開出願番号）：特開2002-374145
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】 電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数(Q値)、周波数温度特性に優れ、あるいは帯域幅、挿入損失、利得などの特性面で高性能な圧電薄膜共振子を提供する。【解決手段】 基板12と、基板上に絶縁体層13を介して形成された圧電積層構造体14とを有する。絶縁体層13及び圧電積層構造体14の一部により振動部21が構成される。圧電積層構造体14は下部電極15、圧電体膜16および上部電極17を積層したものであり、基板12は振動部21に対応する領域にて振動部の振動を許容する空隙20を形成している。圧電体膜16は一般式Al<SB>1-</SB><SB>x</SB> Ga<SB>x</SB> N(但し、0<x<1)で表される窒化アルミニウムと窒化ガリウムとの固溶体または一般式Al<SB>1-y</SB> In<SB>y</SB> N(但し、0<y<1)で表される窒化アルミニウムと窒化インジウムとの固溶体よりなる配向性結晶膜である。
請求項（抜粋）：
圧電体膜とその両面にそれぞれ形成された電極とを含む圧電積層構造体の一部を含んで振動部が構成される圧電薄膜共振子であって、前記圧電体膜は一般式Al<SB>1-x</SB> Ga<SB>x</SB> N(但し、0<x<1)で表される窒化アルミニウムと窒化ガリウムとの固溶体または一般式Al<SB>1-y</SB> In<SB>y</SB> N(但し、0<y<1)で表される窒化アルミニウムと窒化インジウムとの固溶体よりなる配向性結晶膜であることを特徴とする圧電薄膜共振子。
IPC (4件)：
H03H 9/17
, H01L 41/08
, H01L 41/083
, H01L 41/18
H03H 9/17 F
, H01L 41/08 S
, H01L 41/18 101 A
, H01L 41/08 D
5J108AA04
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108EE03
