特許
J-GLOBAL ID：200903042856050980

塗布装置および液体吐出装置

発明者：
松嶋 大輔

松嶋 大輔 について

, 
栗山 昇

栗山 昇 について

, 
宮本 泰彰

宮本 泰彰 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-175213
公開番号（公開出願番号）：特開2006-346563
出願日： 2005年06月15日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】機能性薄膜の材料となる適正量の液体を精度よく吐出することができ、これにより基板上に常に均一な厚みの機能性薄膜を形成することが可能な信頼性にすぐれた塗布装置および液体吐出装置を提供する【解決手段】電圧の印加により振動する圧電振動子17を有し、その圧電振動子17の振動により基板W上に液体を吐出するヘッド9と、圧電振動子17に加わる電圧のレベルを調整する電圧調整回路32と、圧電振動子17に加わる電圧のレベルを検知する検知手段とを備えている。この検知手段の検知結果に応じて、電圧調整回路32を操作する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板上に液体を噴射塗布して機能性薄膜を形成する塗布装置において、 電圧の印加により振動する駆動素子を有し、その駆動素子の振動により前記基板上に液体を吐出するヘッドと、 前記駆動素子に加わる電圧を調整する電圧調整回路と、 前記駆動素子に加わる電圧を検知する検知手段と、 前記検知手段の検知結果に応じて前記電圧調整回路を操作する制御手段と、 を備えていることを特徴とする塗布装置。
IPC (3件)：
B05C 5/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件)：
B05C5/00 101 ,  B41J3/04 103A
Fターム (17件)：
2C057AF23 ,  2C057AG15 ,  2C057AG44 ,  2C057AL40 ,  2C057AM15 ,  2C057AM16 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA12 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (4件)
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