カーボンナノチューブの形成方法および電子デバイスの製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-038010
公開番号（公開出願番号）：特開2006-228818
出願日： 2005年02月15日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：

【課題】カーボンナノチューブを平面上に倒した状態で形成する。【解決手段】基板上に2電極のうちの一方にカーボンナノチューブを垂直配向させて形成した後(ステップS1,S2)、例えばこれを液中に浸漬してから引き上げる等の方法を用い、一方の電極上に形成したカーボンナノチューブをもう一方の電極の側に倒す(ステップS3)。これにより、基板に対し平行方向に配向させたカーボンナノチューブを形成することができ、そのようなカーボンナノチューブにより2電極間を確実に接続することが可能になる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

カーボンナノチューブの形成方法において、カーボンナノチューブを形成面上に垂直配向させて形成し、垂直配向させて形成した前記カーボンナノチューブの根元を前記形成面上に固定したまま前記カーボンナノチューブを前記形成面上に一方向に倒すことを特徴とするカーボンナノチューブの形成方法。

IPC (9件)：

H01L 21/28 , B82B 3/00 , C01B 31/02 , H01L 27/10 , H01L 29/06 , H01L 21/320 , H01L 23/52 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (11件)：

H01L21/28 301Z , H01L21/28 B , B82B3/00 , C01B31/02 101F , H01L27/10 451 , H01L29/06 601N , H01L21/88 B , H01L21/88 M , H01L29/78 618B , H01L29/78 618A , H01L29/78 622

Fターム (45件)：

4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AD28 , 4G146AD29 , 4G146BA11 , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146BC33B , 4G146BC42 , 4G146BC44 , 4G146CB01 , 4G146CB07 , 4M104BB04 , 4M104BB36 , 4M104DD43 , 4M104DD45 , 4M104DD77 , 4M104DD79 , 4M104GG08 , 4M104GG16 , 4M104GG20 , 4M104HH20 , 5F033HH15 , 5F033HH36 , 5F033PP02 , 5F033PP06 , 5F033QQ73 , 5F033QQ99 , 5F033VV06 , 5F033VV11 , 5F033VV16 , 5F033XX00 , 5F083FZ01 , 5F083GA05 , 5F083JA60 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110BB08 , 5F110BB13 , 5F110CC03 , 5F110CC05 , 5F110DD02 , 5F110FF29 , 5F110GG01 , 5F110GG44

引用特許：

出願人引用 (2件)

炭素元素線状構造体を用いた電子デバイス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-194898 出願人：富士通株式会社
柱状カーボン構造物の選択成長方法及び電子デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-074254 出願人：富士通株式会社

審査官引用 (1件)

エミッタの製造方法及び該エミッタを用いた電界放出型冷陰極並びに平面画像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-352983 出願人：日本電気株式会社

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