特許
J-GLOBAL ID:200903043152454542

試料分析用モニタ装置及びそれを用いた燃焼制御システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-329277
公開番号(公開出願番号):特開2001-147216
出願日: 1999年11月19日
公開日(公表日): 2001年05月29日
要約:
【要約】【課題】本発明は、既知濃度の標準試料を測定対象のガスに添加することにより、夾雑物成分の影響によりイオン化効率が変化してしまうことに加えて、前処理部・配管によって吸着してしまう測定対象試料の濃度を高精度に、かつリアルタイムで計測可能なモニタ装置および方法提供するものである。【解決手段】イオン化効率の変化および蒸気圧等の物性値が測定対象試料と同程度の既知濃度の標準試料を添加しながら測定する。測定対象試料と添加した標準試料のイオン強度を比較することにより、測定対象試料の濃度を較正する。【効果】本発明によれば、多様な夾雑物質を含むガス中における測定対象物質の濃度を時々刻々補正しながら、オンラインでリアルタイムの高精度な測定をすることができる。
請求項(抜粋):
測定物質を導入する手段と、該測定物質をイオン化するイオン源と、生成された該測定物質に関するイオンを質量分析する質量分析部と、該質量分析の結果を処理するデータ処理部とを具備して、該測定物質を定量する試料分析用モニタ装置において、定量するための標準物質を前記測定物質導入手段に導入する手段を具備してなることを特徴とする試料分析用モニタ装置。
IPC (5件):
G01N 27/62 ,  G01N 27/62 ZAB ,  F23G 5/50 ZAB ,  G01N 1/00 102 ,  H01J 49/04
FI (5件):
G01N 27/62 F ,  G01N 27/62 ZAB V ,  F23G 5/50 ZAB N ,  G01N 1/00 102 D ,  H01J 49/04
Fターム (8件):
3K062AA24 ,  3K062AB01 ,  3K062AC19 ,  3K062AC20 ,  3K062CA00 ,  3K062CB08 ,  5C038EE01 ,  5C038EF02
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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