特許
J-GLOBAL ID：200903043169088841

洗浄物の乾燥装置及び乾燥方法

発明者：
山口 謙介

山口 謙介 について

, 
石川 義則

石川 義則 について

, 
潘 毅

潘 毅 について


出願人/特許権者：
株式会社カイジョー

株式会社カイジョー について


代理人 (1件)： 羽切 正治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-058652
公開番号（公開出願番号）：特開2003-257926
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：
【要約】【課題】 短時間で洗浄物の乾燥を行うことが可能であり、しかも洗浄物の汚染のおそれがなく、エネルギー損失などのない洗浄物の乾燥装置及び乾燥方法を提供すること。【解決手段】 乾燥槽20、リンス槽30とが一体に形成されて乾燥槽20の上部が解放されて上方から洗浄物の収納、取り出しが可能であり、開閉蓋21の開閉により密閉可能な洗浄物の乾燥装置であり、乾燥槽20は、常温の有機溶剤ミストMを洗浄物に対して供給するためのミスト整流板22を有し、このミスト整流板22から放射される有機溶剤ミストMにより洗浄物の乾燥を行うこと。
請求項（抜粋）：
乾燥槽内で有機溶剤ミストを発生して乾燥槽内の洗浄物に供給する洗浄物の乾燥装置であって、前記乾燥槽は、有機溶剤ミストを前記洗浄物に対して供給するためのミスト整流板を有することを特徴とする洗浄物の乾燥装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 651 ,  B08B 3/08 ,  C23G 3/00 ,  F26B 5/00
FI (4件)：
H01L 21/304 651 H ,  B08B 3/08 Z ,  C23G 3/00 Z ,  F26B 5/00
Fターム (38件)：
3B201AA03 ,  3B201AB03 ,  3B201BB23 ,  3B201BB33 ,  3B201BB95 ,  3B201BB99 ,  3B201CB12 ,  3B201CC01 ,  3B201CC11 ,  3L113AA05 ,  3L113AC08 ,  3L113AC67 ,  3L113BA34 ,  3L113DA02 ,  3L113DA10 ,  4K053PA01 ,  4K053PA13 ,  4K053QA04 ,  4K053QA07 ,  4K053RA04 ,  4K053RA07 ,  4K053RA17 ,  4K053RA40 ,  4K053RA41 ,  4K053RA42 ,  4K053SA04 ,  4K053SA06 ,  4K053TA16 ,  4K053TA17 ,  4K053TA18 ,  4K053TA19 ,  4K053XA11 ,  4K053XA22 ,  4K053XA26 ,  4K053XA27 ,  4K053XA45 ,  4K053XA46 ,  4K053YA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM