特許
J-GLOBAL ID:200903043170293831

アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイ、並びにアレイ型光変調素子の駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-310946
公開番号(公開出願番号):特開2000-028933
出願日: 1998年10月30日
公開日(公表日): 2000年01月28日
要約:
【要約】【課題】 装置コストの増大するレーザ光を用いることなく高速化を可能に、且つ光変調部の設計自由度を向上させると共に、各光変調部が2値モードであっても一画素単位での多階調制御を可能にする。【解決手段】 可撓薄膜27を有する光変調部33を一次元又は二次元に配列し、可撓薄膜27を静電気応力によって変形させ、可撓薄膜27を透過する光の透過率を変化させるアレイ型光変調素子35において、一画素Sを複数に分割したそれぞれの領域mに、光変調部33を設けた。
請求項(抜粋):
可撓薄膜を有する光変調部を一次元又は二次元に配列し、前記可撓薄膜を静電気応力によって変形させ、光の透過率を変化させるアレイ型光変調素子において、一画素を複数に分割したそれぞれの領域に、前記光変調部を設けたことを特徴とするアレイ型光変調素子。
IPC (2件):
G02B 26/02 ,  G02B 26/08
FI (3件):
G02B 26/02 B ,  G02B 26/02 J ,  G02B 26/08 J
Fターム (4件):
2H041AA04 ,  2H041AB03 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02
引用特許:
審査官引用 (4件)
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