特許
J-GLOBAL ID：200903043221174735
感放射線性樹脂組成物
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017289
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225475
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物であって、例えば下記式【化1】で表わされる化合物の1,2-キノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、現像性に優れているとともに高解像度であり、特に、良好な溶解性コントラスト(γ値)を備えたポジ型レジストとして好適に使用できる。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂および下記一般式(1)【化1】[式(1)において、X1〜X10は、同一または異なり、水素原子、アルキル基、アルコキシ基または-ODで示される基(但し、Dは水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。)であり、そしてR1〜R3は、同一または異なり、アルキル基である。但し、X1〜X5およびX6〜X10のそれぞれの組み合せにおいて、少なくとも1つは-ODで示される基であり、これら-ODで示される基の複数個のDの少なくとも1つは1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。]で表わされる1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/022
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
