特許

J-GLOBAL ID：200903043261285351

機能性素子及びその製造方法

発明者： 須山 章子 ,  伊藤 義康 ,  中橋 昌子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 猪股 祥晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-282562
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089883
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】機能性セラミックス素子のセラミックス基板材料に導電層をコーティングする場合、膜質、皮膜の密着性、成膜速度、コーティングプロセスの簡便性、環境低負荷等の要求特性を満足するコーティングプロセスが望まれている。【解決手段】セラミックス基板材料に金属粉末を室温大気中、高速噴射することにより金属皮膜または金属化合物皮膜をコーティングする。

請求項（抜粋）：

セラミックス基板材料に金属粉末を高速噴射することにより金属皮膜または金属化合物皮膜をコーティングしたセラミックス基板を有する機能性素子。

IPC (3件)：

C23C 24/04 ,  C23C 24/08 ,  H01L 23/12

FI (3件)：

C23C 24/04 ,  C23C 24/08 C ,  H01L 23/12 D

Fターム (15件)：

4K044AA13 ,  4K044AB05 ,  4K044BA01 ,  4K044BA02 ,  4K044BA06 ,  4K044BA08 ,  4K044BA10 ,  4K044BA12 ,  4K044BA18 ,  4K044BA19 ,  4K044BB01 ,  4K044BC14 ,  4K044CA23 ,  4K044CA25 ,  4K044CA29

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 金属被膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-089262   出願人：株式会社不二機販
• 特開平1-283388
  
• 特開昭60-106975
  
• 金属皮膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-318910   出願人：橋口拓郎