精密基板収納容器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤井紘一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283007
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110886
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】外形サイズの異なる複数種の精密基板を収納可能で、精密基板の自動取り出しが容易な精密基板収納容器を安価に提供する。【解決手段】容器本体10と蓋20のそれぞれに係止部11(21)を形成し、これら係止部11(21)に複数の方向に延びる支持部13,14(23,24)が形成された保持部材12(22)を着脱自在に係合させて、保持部材12(22)の取り付け方向を変えることによりサイズの異なる複数種の精密基板Aを収納可能にする。

請求項（抜粋）：

容器本体に1枚の精密基板を水平状態で支持し、上方から蓋を被せて保管・輸送する精密基板収納容器において、前記容器本体の底面内側及び蓋の天面内側にそれぞれ係止部を複数形成するとともに、該係止部のそれぞれに着脱可能で、かつ異なる外形サイズの精密基板の端部とそれぞれ当接可能な複数の支持部を有する保持部材を、その1つの支持部が相対向するように蓋と容器本体のそれぞれの係止部に挿嵌して、異なる外形サイズの精密基板をそれぞれ支持可能としたことを特徴とする精密基板収納容器。

Fターム (6件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA12 , 5F031EA14 , 5F031EA19

引用特許：

審査官引用 (5件)

レチクルケース
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-164154 出願人：株式会社ニコン
基板保持用ケース
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-229382 出願人：大日本印刷株式会社
基板収納ケースおよび半導体製造プロセス
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-240798 出願人：株式会社ニコン

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