特許
J-GLOBAL ID:200903043452755501

近接視野顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 秋田 収喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-164025
公開番号(公開出願番号):特開平11-014639
出願日: 1997年06月20日
公開日(公表日): 1999年01月22日
要約:
【要約】【課題】 プローブ先端に点光源が構成されるようにして、簡単な光学系で背景光を低減し、また、反射型照明を可能とし、かつ観測できる被観測物体に制限がなく、工業化に適した近接視野顕微鏡を提供する。【解決手段】 被観測物体に対して中心波長λの入力光を照射する光照射手段(11)と、プローブ(91)と、前記プローブの前記被観測物体に最も近接した部分に設けられ前記光照射手段からの入力光の波長よりも短波長の光を出力する光波長変換手段(100)と、前記光波長変換手段からの光を検出する光検出手段(51,501,502)と、前記プローブとの相対的な位置関係を変化させる走査手段(81,82,9)とを有し、前記被観測物体と前記プローブとの距離がλ以下であることを特徴とする。
請求項(抜粋):
被観測物体に対して中心波長λの入力光を照射する光照射手段と、プローブと、前記プローブの前記被観測物体に最も近接した部分に設けられ前記光照射手段からの入力光の波長よりも短波長の光を出力する光波長変換手段と、前記光波長変換手段からの光を検出する光検出手段と、前記プローブとの相対的な位置関係を変化させる走査手段とを有し、前記被観測物体と前記プローブとの距離がλ以下であることを特徴とする近接視野顕微鏡。
引用特許:
審査官引用 (5件)
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