導波路型光デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003167
公開番号（公開出願番号）：特開平9-197357
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】温度変化に対する出力の安定化が図れ、歩留まりを向上でき、低コストの導波路型光デバイスを提供すること。【解決手段】 Z板LiNbO3 からなる基板1上に、Ti拡散法によってTi拡散層2からなる光導波路を形成した後にパイレックス/ITO混合膜からなる導電性バッファー層4を形成し、この導電性バッファー層4の上にTiからなる電極3を形成したので、光導波路上に発生する応力の再現性の向上が可能となった。また、導電性バッファー層4の線膨張率を、基板1の線膨張率と実質的に等しくなるようにしたので、光導波路上に発生する応力の低減が図れる。

請求項（抜粋）：

焦電効果を有する材料からなる基板に形成された導波路上に、主成分として透明導電性酸化物および透明絶縁性酸化物の混合膜からなる透明導電膜を形成し、該透明導電膜上に電極を形成したことを特徴とする導波路型光デバイス。

引用特許：

審査官引用 (6件)

光デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-098661 出願人：沖電気工業株式会社
光導波路デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-347156 出願人：富士通株式会社
特開平3-192206

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