特許
J-GLOBAL ID：200903043524610430

容器の搬入出装置及び搬入出方法

発明者：
森 宏幸

森 宏幸 について

, 
山口 徳浩

山口 徳浩 について

, 
染崎 雅裕

染崎 雅裕 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229975
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053130
出願日： 1999年08月16日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 容器の搬入出や容器に対する基板の収納,取り出し等を連続して行うことができる容器の搬入出装置及び搬入出方法を提供する。【解決手段】 搬入出装置2は,洗浄前側アウトポート12と,洗浄前側インポート13と,洗浄後側インポート15と,洗浄後側アウトポート16と,ローダ・アンローダ部20と,ストック部14,17,31,32,33,34の間でキャリアCを移送させる移送アーム10を備えている。移送アーム10は,洗浄前側インポート13からローダ・アンローダ部20へのキャリアCの移送及びローダ・アンローダ部20から洗浄前側アウトポート12へのキャリアCの移送を,ストック部14,31,32を介して行い,洗浄後側インポート15からローダ・アンローダ部20へのキャリアCの移送及びローダ・アンローダ部20から洗浄後側アウトポート16へのキャリアCの移送を,ストック部17,33,34を介して行う。
請求項（抜粋）：
基板を収納した容器を搬入させるインポートと,基板を取り出した空の容器を搬出させるアウトポートと,基板を容器から取り出す取り出し部と,容器を貯めておくストック部と,これらインポート,アウトポート,取り出し部及びストック部の間で容器を移送させる移送機構とを備えることを特徴とする,容器の搬入出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B08B 3/04 ,  H01L 21/304 648
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B08B 3/04 Z ,  H01L 21/304 648 C
Fターム (20件)：
3B201AA03 ,  3B201AB23 ,  3B201AB44 ,  3B201BB02 ,  3B201BB82 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CB12 ,  3B201CC01 ,  3B201CD33 ,  5F031CA02 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA73 ,  5F031MA13 ,  5F031MA23
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM