クリーン搬送車

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263038
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085499
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】高速搬送時の基板等をダストの付着のない清浄な状態に保つことができるクリーン搬送車を提供すること。【解決手段】枚葉搬送物1を格納する収納ボックス3を備え、この収納ボックス3内に枚葉搬送物1を格納した状態で枚葉搬送物1を搬送するようにしたクリーン搬送車であって、収納ボックス3の底部カバー2を、収納ボックス3の上部本体に対して昇降可能に構成して、底部カバー2に枚葉搬送物1を載置するようにする。

請求項（抜粋）：

枚葉搬送物を格納する収納ボックスを備え、該収納ボックス内に枚葉搬送物を格納した状態で枚葉搬送物を搬送するようにしたクリーン搬送車において、前記収納ボックスの底部カバーを、収納ボックスの上部本体に対して昇降可能に構成して、該底部カバーに枚葉搬送物を載置するようにしたことを特徴とするクリーン搬送車。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B61B 13/00 , B61D 27/00 , B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B61B 13/00 A , B61D 27/00 S , B65G 49/07 C

Fターム (11件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA12 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031GA58 , 5F031NA02 , 5F031NA18 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-292114 出願人：シャープ株式会社
特開平1-150334
特開平1-117041

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