特許
J-GLOBAL ID：200903043559394730

成膜装置

発明者：
加藤 裕子

加藤 裕子 について

, 
砂賀 芳雄

砂賀 芳雄 について

, 
菊池 正志

菊池 正志 について

, 
岡山 智彦

岡山 智彦 について

, 
清水 康男

清水 康男 について

, 
堀 英介

堀 英介 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (3件)： 大森 純一 ,  折居 章 ,  飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-343223
公開番号（公開出願番号）：特開2008-156669
出願日： 2006年12月20日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】装置の大型化を抑制しつつ、フィルム走行方向に沿って連続成膜が可能なステッピングロール方式の成膜装置を提供する。【解決手段】本発明に係る成膜装置(巻取式プラズマCVD装置)20は、成膜部21と、成膜部21にフィルムFを供給する巻出しローラ22と、成膜部21で成膜したフィルムを巻き取る巻取りローラ23とを備えたステッピングロール方式の成膜装置であって、成膜部21は、フィルム走行方向に関して直列的に配置された複数の成膜室24A,24Bからなり、各成膜室の間には、当該成膜室で成膜されるフィルム長の自然数倍に相当する長さのフィルムを待機させる予備室25が設けられている。これにより、成膜室24A,24Bの設置間隔が任意に設定できるようになり、装置の大型化抑制と設計自由度の向上を図れるようになるとともに、製品の使用効率の向上を図ることが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
成膜部と、前記成膜部にフィルムを供給する巻出しローラと、前記成膜部で成膜したフィルムを巻き取る巻取りローラとを備えたステッピングロール方式の成膜装置であって、 前記成膜部は、フィルム走行方向に関して直列的に配置された複数の成膜室からなり、 各成膜室の間には、当該成膜室で成膜されるフィルム長の自然数倍に相当する長さのフィルムを待機させる予備室が設けられている ことを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
C23C 16/54 ,  C23C 14/56
FI (2件)：
C23C16/54 ,  C23C14/56 B
Fターム (17件)：
4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029CA05 ,  4K029DA12 ,  4K029FA04 ,  4K029FA06 ,  4K029JA10 ,  4K029KA01 ,  4K029KA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA17 ,  4K030BA30 ,  4K030CA12 ,  4K030DA03 ,  4K030FA03 ,  4K030KA08 ,  4K030LA16
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM