特許
J-GLOBAL ID：200903043595951840

エネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡

発明者：
津野 勝重

津野 勝重 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-058166
公開番号（公開出願番号）：特開2003-257354
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：
【要約】【課題】 エネルギーフィルタの制約がなく対称性を確保して高さを制限でき、スペース効率よくエネルギーフィルタを配置できるようにする。【解決手段】 対物レンズと像観察記録系との間にエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡であって、対物レンズ側と像記録系側の各鏡筒1、2の光軸を平行にずらして配置し、電子ビームの対物レンズ側の出射部Aと像観察記録系側の入射部Bとを結ぶ線Lを含むフィルタ面Sを設定し、電子ビームを対物レンズ側の出射部Aにおいてフィルタ面Sに平行な方向に偏向する入射偏向磁石とフィルタ面Sに平行な方向から像観察記録系側の入射部Bに入射する方向に偏向する出射偏向磁石とを含むエネルギーフィルタをフィルタ面Sに平行に配置する。エネルギーフィルタの制約がなく対称性を確保して高さを制限でき、スペースを考慮したエネルギーフィルタの配置ができる。
請求項（抜粋）：
対物レンズと像観察記録系との間にエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡であって、前記対物レンズ側と像記録系側の各鏡筒の光軸を平行にずらして配置し、電子ビームの前記対物レンズ側の出射部と前記像観察記録系側の入射部とを結ぶ線を含むフィルタ面を設定し、電子ビームを前記対物レンズ側の出射部において前記フィルタ面に平行な方向に偏向する入射偏向磁石と前記フィルタ面に平行な方向から前記像観察記録系側の入射部に入射する方向に偏向する出射偏向磁石とを含むエネルギーフィルタを前記フィルタ面に平行に配置したことを特徴とするエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/26 ,  G21K 1/093 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/05
FI (4件)：
H01J 37/26 ,  G21K 1/093 D ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/05
Fターム (4件)：
5C033AA03 ,  5C033AA05 ,  5C033SS03 ,  5C033SS08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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