特許
J-GLOBAL ID：200903043624884910
MEMS振動子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-002148
公開番号（公開出願番号）：特開2007-184815
出願日： 2006年01月10日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：
【課題】同一基板上に異なる固有振動数のMEMS構造体を備えながら小型化、エネルギー損失、Q値が高いMEMS振動子を提供する。【解決手段】MEMS振動子10は、両端自由梁31〜34が、振動の節となる位置を連結部35〜38において連環状に交差連結されるMEMS構造体30と、両端自由梁41〜44が振動の節となる位置を連結部45〜48において連環状に交差連結されるMEMS構造体40と、が基板20の同一平面上に多重環状に形成され、MEMS構造体30とMEMS構造体40とを、連結部35〜38と連結部45〜48において支持梁55〜58で連結し、連結部35〜38と基板20の基部30aとを支持梁51〜54で連結して構成され、MEMS構造体30とMEMS構造体40とが、それぞれ異なる固有振動数(共振周波数)を有し、MEMS構造体30とMEMS構造体40とを選択的に駆動する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の両端自由梁が、振動の節となる位置を連結部として連環状に交差連結されるMEMS構造体を基板の同一表面上に複数備え、
複数の前記MEMS構造体が前記連結部において、支持部材によって前記基板に連結支持されており、
複数の前記MEMS構造体それぞれを形成する前記複数の両端自由梁が、同時に同じ周波数で駆動されるとともに、
複数の前記MEMS構造体それぞれが異なる固有振動数を有し、所望の固有振動数を有するMEMS構造体を選択的に駆動することを特徴とするMEMS振動子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
引用文献：
審査官引用 (1件)
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Integrated HF CMOS-MEMS square-frame resonators with on-chip electronics and electrothermal narrow g
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