特許
J-GLOBAL ID：200903011950405179

MEMS振動子

発明者：
木原 竜児

木原 竜児 について

, 
マニュエル カルモナ フローレス

マニュエル カルモナ フローレス について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-001113
公開番号（公開出願番号）：特開2007-184747
出願日： 2006年01月06日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：
【課題】振動漏れがなく、エネルギー損失を低減することにより、Q値が高く、高効率に駆動できるMEMS振動子を提供する。【解決手段】MEMS振動子10は、基板20上に形成される4個の両端自由梁31〜34と、両端自由梁31〜34それぞれが、振動の節となる位置の連結部41〜44において交差連結され連環状に構成されるMEMS構造体40と、前記連結部に、放射状に延在されるMEMS構造体40を支持する支持梁51〜54と、が備えられ、複数の両端自由梁のうち隣り合う両端自由梁に同一周波数、逆位相の交流電圧を印加して、基板20に対して垂直に駆動する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板の表面に形成される複数の両端自由梁と、 前記複数の両端自由梁それぞれを振動の節となる位置を連結部として交差連結し、連環状に構成されるMEMS構造体と、 前記連結部から延在され、前記MEMS構造体を前記基板の表面と空隙を有して支持する支持部材と、が備えられ、 前記複数の両端自由梁を同時に同じ周波数で駆動することを特徴とするMEMS振動子。
IPC (3件)：
H03H 9/24 ,  B06B 1/02 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
H03H9/24 Z ,  B06B1/02 Z ,  B81B3/00
Fターム (3件)：
5D107AA03 ,  5D107CC12 ,  5J108CC00
引用特許：
審査官引用 (5件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)
  • Integrated HF CMOS-MEMS square-frame resonators with on-chip electronics and electrothermal narrow g

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