MEMS共振器アレイ構造ならびにその動作および使用方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 小野新次郎 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 田中拓人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-519303
公開番号（公開出願番号）：特表2008-545333
出願日： 2006年05月19日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：

機械的に結合されたMEMS共振器102a、b、c、dがNxMのアレイで配列される。各共振器は直線状の細長いビーム部分106a、b、c、dを含む。各々の細長いビーム部分は湾曲部分108a、b、c、dを介して末端で他の細長いビーム部分に連結され、それによって幾何形状(例えば丸みの付いた正方形)を形成する。各共振器は、隣接する共振器の細長いビーム部分の間に配置されてもよい共振器結合部分104を介してアレイの少なくとも1つの別の隣接する共振器に機械的に結合される。共振器は同じ周波数で伸長(もしくはブリージング)モードと曲げモードとの組合せで発振する。アレイの共振器は湾曲部分にノーダルポイント114(すなわち共振器の発振中に静止している、共振器の部分)を含んでもよい。ノーダルポイントは共振器をアンカー結合するのに好ましい位置である。【選択図】図6C

請求項（抜粋）：

MEMSアレイ構造であって、複数のMEMS共振器を備え、各MEMS共振器は、各ビーム部分が第1の端部と第2の端部とを含む複数の細長い直線状ビーム部分と、ビーム部分の各端部が湾曲部分の1つの関連する端部に連結されることによって幾何形状を形成する、各々が第1の端部と第2の端部とを有する複数の湾曲部分と、少なくとも1つの共振器結合部分が、隣接するMEMS共振器の対向する細長い直線状ビーム部分の各々の間に配置される、1つまたは複数の共振器結合部分とを含むMEMSアレイ構造。

IPC (2件)：

H03H 9/24 , B81B 3/00

FI (2件)：

H03H9/24 Z , B81B3/00

Fターム (13件)：

3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA72 , 3C081EA22 , 5J108AA07 , 5J108CC01 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108JJ01 , 5J108KK01

引用特許：

審査官引用 (11件)

マイクロ電気機械システム(MEMS)装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-566525 出願人：ロックウェルオートメーションテクノロジーズ,インコーポレーテッド
マイクロアクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-258529 出願人：オムロン株式会社
音叉型水晶振動片および振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-053419 出願人：セイコーエプソン株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Integrated HF CMOS-MEMS square-frame resonators with on-chip electronics and electrothermal narrow g

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