汚染評価方法、汚染評価装置、露光方法、及び、露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高田守 , 高橋英樹 , 大塚環
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-391270
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156191
出願日： 2003年11月20日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】処理室内においてエネルギー線照射により堆積する汚染物質の量を正確に測定する。【解決手段】処理室内に、所定の物質を含む雰囲気を充填して、その物質を含む雰囲気内で、エネルギー線を水晶振動子に照射し、これにより、水晶振動子に、汚染物質を付着させる。このエネルギー線の照射と並行して、水晶振動子の共振周波数を測定する。そして、重量が増加するにつれて、水晶振動子の共振周波数が低下することを利用して、共振周波数の変化から、水晶振動子の重量の変化を算出し、水晶振動子上に付着した汚染物質の重量を測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理室内に、所定の物質を含む雰囲気を充填する雰囲気充填工程と、前記所定の物質を含む雰囲気内で、エネルギー線を水晶振動子に照射する照射工程と、前記水晶振動子の共振周波数の変化により、前記水晶振動子上に付着した物質の重量を測定する測定工程と、を備えることを特徴とする汚染評価方法。

IPC (3件)：

G01N5/02 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (3件)：

G01N5/02 A , G03F7/20 521 , H01L21/30 516F

Fターム (19件)：

2G052AA03 , 2G052AB12 , 2G052AC21 , 2G052AD02 , 2G052AD22 , 2G052AD42 , 2G052BA05 , 2G052BA11 , 2G052FD06 , 2G052GA08 , 2G052HA03 , 2G052HC04 , 2G052HC17 , 2G052HC24 , 2G052HC40 , 2G052JA09 , 5F046AA22 , 5F046BA03 , 5F046DB03

引用特許：

出願人引用 (7件)

汚染物または汚染ガスを検出する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351602 出願人：株式会社ニコン
特開昭60-039530
チャンバー内のケミカル汚染度モニタ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-360954 出願人：株式会社朝日工業社

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引用文献：

出願人引用 (5件)

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審査官引用 (5件)

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