ビーム照射装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：芝野正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-348989
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153820
出願日： 2004年12月01日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】簡素な構成にて、円滑且つ安定したスキャン動作を実現できるビーム照射装置を提供する。【解決手段】半導体レーザ100からのレーザ光は、レンズアクチュエータ300に支持された照射レンズに入射される。照射レンズを通過したレーザ光は、レンズアクチュエータ300の駆動に応じて、Y-Z平面方向に出射角度が変化する。これにより、目標領域におけるレーザ光のスキャンが行われる。照射レンズを通過したレーザ光は、ビームスプリッタ400によってその一部が反射され分離される。分離された光は、集光レンズ500を通してPSD600上に収束される。DSP制御回路10は、PSD600からの信号をもとに、照射レンズを通過したレーザ光のスキャン位置をモニタする。そして、照射位置がスキャン軌道から外れたとき、アクチュエータ駆動回路40を制御して、照射位置をスキャン軌道に引き戻す。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光を出射する光源と、該光源から出射されたレーザ光を目標領域に向けて照射するレンズと、該レンズを少なくとも前記レーザ光の光軸に直交する方向に変位させる変位手段と、前記変位手段を駆動して前記レーザ光を前記目標領域内にて走査させる走査手段と、前記レンズを通過したレーザ光の一部を分離する分離手段と、該分離手段によって分離されたレーザ光を受光するとともに受光面上における前記分離光の受光位置を検出する検出手段と、該検出手段によって検出された受光位置に基づいて前記目標領域に照射されるレーザ光の走査位置を補正する補正手段とを有する、ことを特徴とするビーム照射装置。

IPC (1件)：

G01S 17/10

FI (1件)：

G01S17/10

Fターム (12件)：

5J084AA04 , 5J084AA05 , 5J084AA10 , 5J084AD07 , 5J084BA04 , 5J084BA12 , 5J084BA48 , 5J084BB01 , 5J084BB14 , 5J084DA01 , 5J084EA07 , 5J084EA11

引用特許：

出願人引用 (1件)

レーザ光照射レンズ用アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-236065 出願人：日本発条株式会社

審査官引用 (10件)

障害物検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-344273 出願人：株式会社ユニシアジェックス
測距装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-042994 出願人：オリンパス光学工業株式会社
距離計測装置におけるスキャン位置検出装置およびスキャン位置制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-312669 出願人：オムロン株式会社

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