オゾン水供給装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三枝英二 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-016781
公開番号（公開出願番号）：特開2003-212518
出願日： 2002年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】他の成分を溶解させることなく高濃度オゾン水の長距離移送を可能にするオゾン水供給装置を提供する。【解決手段】純水を冷却する冷却手段16と、冷却された純水にオゾンを溶解させてオゾン水を製造するオゾン水製造手段2と、オゾン水を移送するオゾン水供給管4とを備えるオゾン供給装置1であり、オゾン水供給管4は断熱配管からなり、常温雰囲気において先端部から吐出されるオゾン水の温度が5°C〜20°Cの範囲にあることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

純水を冷却する冷却手段と、冷却された純水にオゾンを溶解させてオゾン水を製造するオゾン水製造手段と、前記オゾン水を移送するオゾン水供給管とを備え、前記オゾン水供給管は断熱配管からなり、常温雰囲気において先端部から吐出されるオゾン水の温度が5°C〜20°Cの範囲にあることを特徴とするオゾン水供給装置。

IPC (5件)：

C01B 13/10 , B01F 1/00 , B01F 15/06 , C02F 1/78 , H01L 21/027

FI (5件)：

C01B 13/10 D , B01F 1/00 A , B01F 15/06 , C02F 1/78 , H01L 21/30 572 B

Fターム (14件)：

4D050AA01 , 4D050BB02 , 4D050BD03 , 4D050BD04 , 4D050BD06 , 4G035AA01 , 4G035AE13 , 4G035AE15 , 4G037AA02 , 4G037CA00 , 4G042CE01 , 5F046MA02 , 5F046MA05 , 5F046MA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-333291 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-142334 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
オゾン水供給設備
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-172883 出願人：株式会社コア・コーポレーション

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