特許
J-GLOBAL ID：200903043991881286
熱型赤外線センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
池田 憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-286681
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132653
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 プロセス中に酸化された金属膜、または酸化数の増大した金属酸化膜を、保護膜等をつけたままで本来の電気特性に戻す方法、もしくは抵抗温度係数は変化させずに膜の比抵抗のみを制御する方法を提供する。【解決手段】 真空容器3内の試料ホルダ2にセンサを形成した後の試料ウェハ1を設置し、水素ガスを含む還元雰囲気下で試料ウェハ1を所望の温度で熱処理を行う。還元性雰囲気は、真空排気された容器にアルゴンと水素混合ガスよりなる還元性ガスを導入すること、もしくは薄膜を常圧の拡散炉に封入し、水素ガスよりなる還元性ガスを一定量流すことによって還元性雰囲気とすることができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも金属よりなるボロメータ材料と、赤外線吸収膜とを備えた感熱部を有する熱型赤外線センサの製造方法であって、前記感熱部を形成した後に水素ガスを含む還元雰囲気中で熱処理を行うことによってボロメータ材料の抵抗温度係数を制御する工程を有することを特徴とする熱型赤外線センサの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/02 C
, G01J 5/02 C
審査官引用 (7件)
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特開平4-307977
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赤外線センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-140449
出願人：テルモ株式会社
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赤外線センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-265703
出願人：日本電気株式会社
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