高周波誘導結合アークプラズマの点火方法およびプラズマ発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-051286
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223595
出願日： 1996年03月08日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】アルゴンガスや、放電開始電圧の高い窒素、空気などの作動ガスのアークプラズマを、特別な点火装置を用いることなく、高周波誘導コイルのみにより点火できるようにする。【解決手段】高周波誘導コイル2を巻装した電気絶縁管1に、大気圧に近い圧力下で最初にヘリウムガスを導入し、高周波誘導コイル2に高周波電源3から電流を流してヘリウムガスのグロー放電を立て、ついでヘリウムガスにアルゴンガスを加えてその混合ガスの放電を立てた後、ヘリウムガスの導入を停止してアルゴンガスのアークプラズマに移行させる。さらに、アルゴンガスのアークプラズマを立てた状態で、窒素、空気などの作動ガスを加え、そのガス濃度を徐々に高めるようにガス混合比を変え、最終的にアルゴンガスの導入を停止して作動ガスのアークプラズマに移行させる。

請求項（抜粋）：

高周波誘導コイルを巻装した電気絶縁管の内部に、ヘリウムガスを導入して大気圧に近い圧力条件に保持し、高周波誘導コイルに高周波電流を通電してヘリウムガスのグロー放電を立て、次いで、ヘリウムガスとともにアルゴンガスを導入して、これらの混合ガスの放電を立て、続いて、ヘリウムガスの導入を停止して、大気圧に近い圧力条件において安定に維持されるアルゴンガスのアークプラズマに移行させることを特徴とする高周波誘導結合アークプラズマの点火方法。

引用特許：

審査官引用 (14件)

プラズマ発生方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-034985 出願人：住友重機械工業株式会社
ICPトーチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-130527 出願人：横河電機株式会社
特開平2-050969

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