特許
J-GLOBAL ID：200903044153851924

ピエゾスキャナの歪み補正方法及びピエゾスキャナの歪み補正装置

発明者：
米井 和則

米井 和則 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256745
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071544
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：
【要約】【課題】 本発明はピエゾスキャナの歪み補正方法及びピエゾスキャナの歪み補正装置に関し、ピエゾスキャナに歪みゲージを貼り付け、歪みゲージからの信号をフィードバック信号として用いることによってピエゾスキャナの変位歪みを補正することを目的としている。【解決手段】 ピエゾスキャナ1Aに歪みゲージ10を貼り付け、歪みゲージ10の出力変位量信号と、予め定められた基準信号の変位量との差分を求め、この求めた差分信号をフィードバック信号として用い、ピエゾスキャナ1Aの変位歪みを補正するように構成する。
請求項（抜粋）：
ピエゾスキャナに歪みゲージを貼り付け、該歪みゲージの出力変位量信号と、予め定められた基準信号の変位量との差分を求め、この求めた差分信号をフィードバック信号として用い、ピエゾスキャナの変位歪みを補正することを特徴とするピエゾスキャナの歪み補正方法。
IPC (3件)：
G01N 13/10 ,  G01B 7/16 ,  G01L 1/00
FI (4件)：
G01N 13/10 E ,  G01N 13/10 A ,  G01L 1/00 D ,  G01B 7/18 B
Fターム (22件)：
2F063AA03 ,  2F063AA28 ,  2F063BA30 ,  2F063BC02 ,  2F063BD01 ,  2F063CA40 ,  2F063CB06 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DA08 ,  2F063DA23 ,  2F063DB05 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EC22 ,  2F063EC25 ,  2F063KA01 ,  2F063KA06 ,  2F063LA22 ,  2F063LA23 ,  2F063LA29 ,  2F063ZA01
引用特許：
審査官引用 (8件)
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