特許
J-GLOBAL ID：200903044305593004
フローセンサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347981
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165733
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 流体温度の変化を応答性よく検出して、流体の流量を正確に測定できるようにする【解決手段】 半導体基板1の空洞部1a上に薄膜構造のダイアフラム10を形成し、そのダイアフラム10に流量検出体30、ヒータ40を設けるとともに、半導体基板1上に流体温度検出体20を設けてなるフローセンサにおいて、流体温度検出体20の配線パターンの両側に溝21を形成した。このことにより、流体温度検出体20の応答性が良好になり、流体の温度を応答性よく検出することができるため、フローセンサとして流量を正確に検出することができる。
請求項（抜粋）：
基板(1)の一面側に、配線パターンで形成された流体温度検出体(20)および発熱体(40)が配設され、前記流体温度検出体(20)によって検出された温度に基づいて前記発熱体(40)の温度が基準温度に設定されるようになっており、流体の流れによる前記発熱体(40)の熱分布の変化に基づいて前記流体の流量を検出するようにしたフローセンサにおいて、前記流体温度検出体(20)の配線パターンの両側に溝(21)が形成されていることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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