電子線装置及びスペーサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283438
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311631
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】電子線装置において用いる部材の帯電による影響を抑制する。【解決手段】電子源を備えた気密容器を有する電子線装置において、気密容器内に第1の部材配置する場合に、該第1の部材は、少なくとも一部を膜で被覆されており、該膜は、第1の領域中で、該第1の領域とは電子密度の異なる第2の領域がネットワークを形成している膜であるように構成する。3次元ネットワーク構造により好適に帯電が抑制される。

請求項（抜粋）：

電子源を備えた気密容器を有する電子線装置であって、前記気密容器内に第1の部材を有しており、該第1の部材は、少なくとも一部を膜で被覆されており、該膜は、第1の領域中で、該第1の領域とは電子密度の異なる第2の領域がネットワークを形成している膜であることを特徴とする電子線装置。

IPC (4件)：

H01J 29/87 , H01J 5/03 , H01J 9/24 , H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 29/87 , H01J 5/03 , H01J 9/24 A , H01J 31/12 C

Fターム (8件)：

5C012AA05 , 5C012BB07 , 5C032AA01 , 5C032CD06 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EG02 , 5C036EG50

引用特許：

審査官引用 (4件)

画像形成装置及びその駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-274195 出願人：キヤノン株式会社
電子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-157962 出願人：キヤノン株式会社
内部支持構造体及び/若しくは隆起したブラックマトリクスを有するフラットパネル装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-518052 出願人：シリコン・ビデオ・コーポレイション

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