特許

J-GLOBAL ID：200903044411184873

オゾン含有超純水の製造方法及び製造装置

発明者： 富永 茂 ,  藤平 健一
出願人/特許権者： 株式会社ロキテクノ
代理人 (1件)： 稲垣 仁義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-037735
公開番号（公開出願番号）：特開2004-243260
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】超純水でも市水や純水と同じようにオゾンガスの溶解効率を上昇させ、オゾン発生機を小型化し得る超純水の製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】窒素を含有する超純水から窒素を除去した超純水に、オゾンガスを導入することによってオゾンガスの溶解効率を増大させた。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

窒素を含有する超純水から窒素を除去する工程と、該窒素を除去した超純水にオゾンガスを導入する工程と、を具備することを特徴とするオゾン含有超純水の製造方法。

IPC (4件)：

C02F1/20 ,  B01D19/00 ,  B01F1/00 ,  C02F1/78

FI (4件)：

C02F1/20 Z ,  B01D19/00 H ,  B01F1/00 A ,  C02F1/78

Fターム (15件)：

4D011AA08 ,  4D011AA16 ,  4D011AA17 ,  4D037AA03 ,  4D037AB12 ,  4D037BA23 ,  4D037CA11 ,  4D050AA05 ,  4D050BB02 ,  4D050BC10 ,  4D050BD06 ,  4D050CA03 ,  4G035AA01 ,  4G035AB04 ,  4G035AB20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 純水供給システム及び洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-264545   出願人：株式会社フロンテック, オルガノ株式会社, 大見忠弘
• 機能水製造方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-169175   出願人：オルガノ株式会社
• アンモニア脱気方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-337533   出願人：東北電力株式会社, 三菱化成株式会社, 日本錬水株式会社