特許
J-GLOBAL ID：200903044532660117

ウェハ保持装置

発明者：
井之上 博範

井之上 博範 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-014910
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213775
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】ウェハ保持装置における板状体11と筒体13の接合部からのガスリークを防止する。【解決手段】ウェハ30の載置面11aを有するセラミックス製板状体11の下面に、真空気密用筒体13のフランジ部13aを気密接合するとともに、該フランジ部13aの下面に応力緩和リング16を接合してウェハ保持装置を構成する。
請求項（抜粋）：
ウェハの載置面を有するセラミックス製板状体の下面に、真空気密用筒体のフランジ部を接合するとともに、該フランジ部の下面に応力緩和リングを接合したことを特徴とするウェハ保持装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (5件)：
H01L 21/68 N ,  B23Q 3/15 D ,  C23C 14/50 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
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