特許
J-GLOBAL ID：200903044562862954

被加工材のチャックテーブル

発明者：
酒谷 康之

酒谷 康之 について

, 
足立 禎

足立 禎 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について

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セイコー精機株式会社

セイコー精機株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305683
公開番号（公開出願番号）：特開2000-126959
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：
【要約】【課題】半導体ウェーハのダイシング装置に適用されるチャックテーブルにおいて、そのチャックテーブルの吸着パッド部材からチップが脱落しても、他のチップを継続して吸着保持することができるチャックテーブルを提供する。【解決手段】本発明によれば、チャックテーブル10の吸着パッド部材40にダイヤフラム42を設ける。このダイヤフラム42は、チャックテーブル10の真空チャンバ32内の圧力と大気圧との差圧によって動作され、吸着パッド部材40と真空チャンバ32とを連通する吸引孔34を閉塞する。
請求項（抜粋）：
切断刃によって複数のチップに切断される板状被加工材を吸着保持する被加工材のチャックテーブルにおいて、前記チャックテーブルは、真空室がその内部に形成されたテーブル本体と、前記テーブル本体の吸着面に設けられ、前記被加工材を吸着保持すると共に前記切断刃で切断される複数のチップをチップ毎に吸着保持する複数の吸着パッド部材と、前記テーブル本体に形成され、該テーブルの真空室と前記吸着パッド部材とを連通する吸気孔と、前記テーブル本体又は前記吸着パッド部材に設けられ、前記テーブル本体の真空室の圧力と大気圧との差圧によって前記吸引孔に吸引され、該吸引孔を閉塞する閉塞部材と、を備えたことを特徴とする被加工材のチャックテーブル。
IPC (2件)：
B23Q 3/08 ,  H01L 21/301
FI (2件)：
B23Q 3/08 A ,  H01L 21/78 M
Fターム (1件)：
3C016DA02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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