処理液吐出ノズル、液処理装置および液処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224950
公開番号（公開出願番号）：特開2001-046918
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】移動時に処理液が基板上に垂れずに製品の歩留まりを向上できる処理液吐出ノズル、それを用いた液処理装置および液処理方法を提供すること。【解決手段】処理液を被処理体Gに吐出する処理液吐出ノズル60は、処理液を略水平方向に送る送液管61と、送液管61に連通され、処理液を吐出する吐出部62とを有する。吐出部62は、送液管61より上方に配置された液切り部63と、液切り部63から下方に向けられ、被処理体に処理液を吐出する先端部64とを有する。

請求項（抜粋）：

処理液を被処理体に吐出する処理液吐出ノズルであって、処理液を略水平方向に送る送液管と、該送液管に連通され、処理液を吐出する吐出部とを有し、前記吐出部は、前記送液管より上方に配置された液切り部と、該液切り部から下方に向けられ、被処理体に処理液を吐出する先端部とを有することを特徴とする処理液吐出ノズル。

IPC (10件)：

B05B 1/00 , B05C 5/00 101 , B05D 1/40 , F04B 53/10 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/027 , H01L 21/304 643 , H01L 21/306 , G03F 7/30 501

FI (10件)：

B05B 1/00 Z , B05C 5/00 101 , B05D 1/40 A , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 643 C , G03F 7/30 501 , F04B 21/02 J , H01L 21/30 569 C , H01L 21/306 R

Fターム (56件)：

2H088FA17 , 2H088FA18 , 2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA12 , 2H088HA28 , 2H088MA20 , 2H090HC18 , 2H090JB02 , 2H090JC19 , 2H090LA04 , 2H090LA15 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096CA14 , 2H096GA17 , 2H096GA29 , 2H096GA31 , 2H096LA30 , 3H071AA01 , 3H071CC11 , 3H071CC44 , 3H071DD35 , 4D075AA04 , 4D075AA33 , 4D075AA39 , 4D075BB13X , 4D075BB46X , 4D075BB65X , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DB31 , 4D075DC22 , 4D075EA45 , 4D075EB60 , 4F033AA14 , 4F033BA03 , 4F033CA04 , 4F033DA01 , 4F033EA05 , 4F033NA01 , 4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA05 , 4F041BA12 , 4F041BA17 , 4F041BA53 , 5F043DD13 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE40 , 5F043GG10 , 5F046JA02 , 5F046LA04 , 5F046LA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

液体吐出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-319378 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-069404 出願人：株式会社ニコン
特開平2-237660

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