特許
J-GLOBAL ID：200903044642812575
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-232660
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068244
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 洗浄装置全体を小型化し、その洗浄の条件出しが簡素化できる洗浄装置を得ること。【解決手段】 本発明の実施形態の洗浄装置1は、中央部に被洗浄物を保持、移載する第1のハンド14と第2のハンド15とを備えた搬送ロボット10が配設され、この搬送ロボット10を中心にして、その周囲に時計方向に、順次、被洗浄物搬入装置20、ハンド洗浄装置30、被洗浄物洗浄装置40、被洗浄物洗浄乾燥装置50、被洗浄物搬出装置60を配設して、第1のハンド14でウエットな半導体ウエハを被洗浄物搬入装置20から被洗浄物洗浄装置40、被洗浄物洗浄乾燥装置50へ移載し、被洗浄物洗浄乾燥装置50で洗浄、乾燥されたドライな半導体ウエハを第2のハンド15で被洗浄物搬出装置60に移載するように構成されている。
請求項（抜粋）：
ウエットな被洗浄物を搬入して薬液、その他で洗浄、乾燥し、その洗浄、乾燥されたドライな被洗浄物を搬出する洗浄装置において、ウエットな被洗浄物を保持する第1のハンドとドライな被洗浄物を保持する第2のハンドとを備えた搬送ロボットと、該搬送ロボットを中心にして、その周囲に配設され、洗浄を必要とするウエットな被洗浄物を搬入できる搬入口とその被洗浄物を搬出できる搬出口とその被洗浄物を載置できる載置装置を備えた被洗浄物搬入装置と、該被洗浄物搬入装置の側方に配設され、前記ハンドを洗浄するためのハンド洗浄装置と、該ハンド洗浄装置の前記被洗浄物搬入装置側とは異なる側方に配設され、前記被洗浄物搬入装置に搬入されたウエットな被洗浄物を洗浄するための被洗浄物洗浄装置と、該被洗浄物洗浄装置の前記ハンド洗浄装置側とは異なる側方に配設され、前記被洗浄物洗浄装置で洗浄されたウエットな被洗浄物を洗浄、乾燥するための被洗浄物洗浄乾燥装置と、該被洗浄物洗浄乾燥装置の前記被洗浄物洗浄装置側とは異なる側方に配設され、前記被洗浄物洗浄乾燥装置で乾燥されたドライな被洗浄物を搬入することができる搬入口とその被洗浄物を搬出することができる搬出口とその被洗浄物を載置することができる載置装置を備えた被洗浄物搬出装置とから構成されていることを特徴とする洗浄乾燥装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 648
, H01L 21/304 651
, H01L 21/68
H01L 21/304 648 A
, H01L 21/304 651 A
, H01L 21/68 A
5F031CC12
, 5F031KK02
, 5F031LL05
