特許

J-GLOBAL ID：200903044653302668

非蒸発型ゲッタとその製造方法、及び、表示装置

発明者： 時岡 正樹 ,  重岡 和也 ,  荒井 由高 ,  長谷川 光利
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-252777
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068235
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：

【要約】【課題】 残留ガスの吸着能力を持続でき、加えて、とりわけ表示装置の製造プロセス過程における高温低真空状態を経験しても、十分な特性が確保できる非蒸発型ゲッタを提供する。【解決手段】 その内部に多くの空隙を有し、Tiを主成分とする多結晶膜を有することを特徴とする非蒸発型ゲッタ。

請求項（抜粋）：

その内部に多くの空隙を有し、Tiを主成分とする多結晶膜を有することを特徴とする非蒸発型ゲッタ。

IPC (6件)：

H01J 29/94 ,  B01J 20/02 ,  B01J 20/28 ,  B01J 20/30 ,  F04B 37/02 ,  H01J 31/12

FI (6件)：

H01J 29/94 ,  B01J 20/02 A ,  B01J 20/28 Z ,  B01J 20/30 ,  F04B 37/02 A ,  H01J 31/12 C

Fターム (18件)：

3H076AA24 ,  3H076BB50 ,  3H076CC55 ,  4G066AA02B ,  4G066AA02C ,  4G066AA02D ,  4G066BA03 ,  4G066BA09 ,  4G066BA20 ,  4G066BA38 ,  4G066FA40 ,  5C032AA01 ,  5C032JJ08 ,  5C032JJ10 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EG02 ,  5C036EG50

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ゲッター、ゲッターを有する気密容器および画像形成装置、ゲッターの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-039648   出願人：キヤノン株式会社
• 不活性ガス中の微量不純ガス成分の除去方法および除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-087666   出願人：大陽酸素株式会社
• 画像表示装置とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-297942   出願人：キヤノン株式会社
• ゲッター、平面型表示装置及び平面型表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-262754   出願人：ソニー株式会社