特許
J-GLOBAL ID:200903044656122750
異物検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
早川 誠志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-155366
公開番号(公開出願番号):特開2001-337176
出願日: 2000年05月25日
公開日(公表日): 2001年12月07日
要約:
【要約】【課題】 微小な異物の見過ごしを防ぐ。【解決手段】 異物検出手段37は、透過画像取得手段31によって得られた被検査体の透過画像情報に基づいて被検査体に含まれる異物の有無、位置および大きさを検出する。判定手段38は、異物検出手段37が検出した異物が基準より大きいか否かを判定し、強調画像生成手段39は、基準より小さいと判定された異物に対して、その異物を認識しやすくするための強調画像情報を生成する。表示制御手段40は、被検査体の外形画像を表示装置41に表示し、基準の大きさ以上と判定された異物については、外形中の存在位置に検出された大きさで識別表示し、基準より小さいと判定された異物については、強調画像生成手段39によって生成された強調画像を外形中の存在位置に表示する。
請求項(抜粋):
被検査体を透過する透過線を出力する透過線出力部および被検査体を透過した透過線の強さを検出する透過線検出部からなる透過センサと、前記透過センサの透過線検出部の出力に基づいて被検査体の各部位毎の透過線に対する影響度の違いを示す透過画像情報を求める透過画像取得手段と、前記透過画像取得手段によって得られた透過画像情報に基づいて被検査体に含まれる異物の有無、位置および大きさを検出する異物検出手段と、前記異物検出手段が検出した異物が、予め設定されている基準の大きさより大きいか否かを判定する判定手段と、前記判定手段によって前記基準の大きさより小さいと判定された異物に対して、その異物を認識しやすくするための強調画像情報を生成する強調画像生成手段と、画像を表示するための表示装置と、前記被検査体の少なくとも外形画像を前記表示装置に表示し、前記異物検出手段によって検出された前記基準の大きさ以上の異物については、前記外形中の存在位置に前記検出された大きさで識別表示し、前記基準より小さいと判定された異物については、前記強調画像生成手段によって生成された強調画像を前記外形中の存在位置に表示する表示制御手段とを備えた異物検査装置。
引用特許:
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