特許
J-GLOBAL ID:200903044669690307
濾過式成形型およびその型を用いたセラミックス焼結体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 一雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-244900
公開番号(公開出願番号):特開平11-286002
出願日: 1998年08月31日
公開日(公表日): 1999年10月19日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 セラミックス焼結体の製造用に、安価な濾過式成形型を提供し、スパッタリングゲートとして使用効率の高い肉厚差を有するITO焼結体を製造する方法を提供する。【解決手段】 セラミックス原料スラリーから水分を減圧排水して成形体を得るための非水溶性の材料からなる濾過式成形型であって、1個以上の水抜き孔を有する成形用下型と、この成形用下型の上に載置した通水性を有するフィルターと、このフィルターをシールするためのシール材を介して上面側から挟持する成形用型枠からなり、成形用下型、成形用型枠およびシール材、フィルターを各々分解できるように組立てられており、フィルター面側からのみスラリー中の水分を減圧排水する。成形用下型のフィルター面側が、凹凸形状を有する。酸化インジウム粉、酸化錫粉、イオン交換水と有機添加剤からなるスラリーを調製し、成形型に注入し、成形体を乾燥後、焼成するITO焼結体の製造方法。
請求項(抜粋):
セラミックス原料スラリーから水分を減圧排水してセラミックス成形体を得るための非水溶性材料からなる濾過式成形型であって、1個以上の水抜き孔を有する成形用下型と、この成形用下型の上に載置した通水性を有するフィルターと、このフィルターをシールするためのシール材を介して上面側から挟持する成形用型枠からなり、前記成形用下型、成形用型枠、シール材、およびフィルターが各々分解できるように組立てられており、該フィルター面側からのみスラリー中の水分を減圧排水することを特徴とする濾過式成形型。
IPC (3件):
B28B 1/26 101
, C04B 35/622
, C04B 35/457
FI (3件):
B28B 1/26 101
, C04B 35/00 E
, C04B 35/00 R
引用特許:
出願人引用 (4件)
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ITO焼結体の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-282806
出願人:三菱マテリアル株式会社
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特開昭63-221010
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ITO焼結体の製造法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-295379
出願人:東ソー株式会社
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特開平2-128802
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審査官引用 (10件)
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特開昭63-221010
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ITO焼結体の製造法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-341845
出願人:東ソー株式会社
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ITO焼結体の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-282806
出願人:三菱マテリアル株式会社
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特開昭63-221010
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特開昭60-259406
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特開昭60-259406
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ITO焼結体の製造法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-295379
出願人:東ソー株式会社
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特公平6-000659
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加圧泥漿鋳込み
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-343188
出願人:株式会社栗本鐵工所
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特開昭63-221010
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