特許
J-GLOBAL ID：200903044670275879

電磁誘導加速装置

発明者：
朴 源 澤

朴 源 澤 について

, 
柳 晉 祐

柳 晉 祐 について

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ウラディミル ヴォリネツ

ウラディミル ヴォリネツ について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (2件)： 小野 由己男 ,  稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-339181
公開番号（公開出願番号）：特開2006-148139
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】プラズマの照射範囲を拡大させ、プラズマの生成/加速の両能力を同時に向上させ得る電磁誘導加速装置を提供する。 【解決手段】初期放電部(310)は第1駆動周波数の電流を、放電コイル(315)、第1外部及び内部コイル(311、313)に同方向に流す。そのとき生成される交流磁界がチャネル(390)内にプラズマを生成し、軸方向の初期速度を与える。加速部(330)は第2駆動周波数の電流を第2外部及び内部コイル(331、333)に同方向に流す。各電流の位相は軸方向に沿って遅れる。それにより生成される交流磁界が軸方向に傾きを持ち、かつ軸方向に伝搬するので、プラズマが軸方向に加速され続ける。ノズル部(350)は第3外部及び内部コイルに電流を逆方向に流す。それにより軸方向の磁界が生成されるので、プラズマが圧縮されてから外に放出される。第1及び第2駆動周波数は互いに独立に最適化される。 【選択図】図3
請求項（抜粋）：
筒状の外部シリンダ、 筒状であり、その外径が前記外部シリンダの内径より小さく、前記外部シリンダの内側に前記外部シリンダと同軸に配置された内部シリンダ、 前記外部シリンダの内側面と前記内部シリンダの外側面との間の空間(以下、チャネルという)内に、軸方向と交差する第1交流磁界を生成することで、前記チャネル内にプラズマを生成する初期放電部、 前記チャネル内に、軸方向に傾きを持つ勾配磁界、又は軸方向に伝搬する第2交流磁界を生成することで、前記プラズマを軸方向に加速する加速部、及び、 前記外部シリンダの開口端近傍の前記チャネル内に軸方向の磁界を生成することで、前記加速部により加速された前記プラズマを圧縮して前記開口端から外に放出するノズル部、 を有する電磁誘導加速装置。
IPC (3件)：
H01L 21/306 ,  H05H 1/46 ,  H05H 1/24
FI (3件)：
H01L21/302 101C ,  H05H1/46 L ,  H05H1/24
Fターム (3件)：
5F004AA01 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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