特許
J-GLOBAL ID：200903044695151414

板状物の搬送装置

発明者：
藤澤 晋一

藤澤 晋一 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-034709
公開番号（公開出願番号）：特開2009-194217
出願日： 2008年02月15日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：
【課題】 搬送中に板状物を落下させることのない板状物の搬送装置を提供することである。【解決手段】 板状物を保持する保持機構と、該保持機構を第1位置と第2位置との間で移動可能な移動機構とを備えた板状物の搬送装置であって、前記保持機構は、固定プレートと、該固定プレートに取り付けられた板状物吸着部材と、該板状物吸着部材に吸引力を付与する真空吸引手段と、それぞれ板状物の下面を保持する保持位置と、該固定プレートの外周方向に退避する退避位置との間で該固定プレートに回動可能に取り付けられた複数の保持部材と、前記各保持部材を前記保持位置と前記退避位置との間で移動させる駆動手段と、を具備したことを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
板状物を保持する保持機構と、該保持機構を第1位置と第2位置との間で移動可能な移動機構とを備えた板状物の搬送装置であって、 前記保持機構は、 固定プレートと、 該固定プレートに取り付けられた板状物吸着部材と、 該板状物吸着部材に吸引力を付与する真空吸引手段と、 それぞれ板状物の下面を保持する保持位置と、該固定プレートの外周方向に退避する退避位置との間で該固定プレートに回動可能に取り付けられた複数の保持部材と、 前記各保持部材を前記保持位置と前記退避位置との間で移動させる駆動手段と、 を具備したことを特徴とする板状物の搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/301 ,  B65G 49/07
FI (3件)：
H01L21/68 B ,  H01L21/78 N ,  B65G49/07 G
Fターム (21件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA13 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA12 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA30 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA54 ,  5F031HA13 ,  5F031KA11 ,  5F031MA22 ,  5F031PA20 ,  5F031PA24
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 半導体基板吸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-186757   出願人：九州日本電気株式会社
  • ウェーハのセンタリング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-294386   出願人：信越半導体株式会社
  • 非接触搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-044173   出願人：株式会社ハーモテック
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審査官引用 (4件)
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