特許
J-GLOBAL ID：200903044730282101
高濃度オゾン連続発生方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140712
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335102
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】【課題】 一定濃度のオゾンガスを一定流量で供給することのできる高濃度オゾンの製造技術を提供する。【解決手段】 オゾナイザーで発生させたオゾンガスを吸着筒内の吸着剤に吸着させた後、吸着剤から脱離させて高濃度オゾン得る高濃度オゾン発生方法であって、吸着筒(2)を3筒並列に配置する。各吸着筒(2)がオゾン吸着工程、安定化兼昇圧工程、オゾン脱着工程、冷却工程の4工程を繰り返すように制御する。オゾン吸着工程とオゾン脱着工程の各運転時間を安定化兼昇圧工程及び冷却工程の各運転時間の2倍に設定する。オゾン濃縮ユニットを構成している3本の吸着筒(2)を1/3サイクルづつずらして運転するように設定する。各吸着筒(2)の脱着工程で脱離させた高濃度オゾンを一旦オゾン貯蔵容器(30)に貯蔵し、このオゾン貯蔵容器(30)から流量調整器(34)で流量を一定流量に調整してオゾン使用設備に供給する。
請求項（抜粋）：
オゾナイザー(8)で発生させたオゾンガスを吸着筒(2)内の吸着剤(1)に吸着させた後、吸着剤(1)から脱離させて得た高濃度オゾンをオゾン使用設備に供給する高濃度オゾン発生方法において、吸着剤(1)を充填した吸着筒(2)を3筒並列に配置して構成したオゾン濃縮ユニットで各吸着筒(2)がオゾン吸着工程、安定化兼昇圧工程、オゾン脱着工程、冷却工程の4工程を繰り返すように制御し、オゾン吸着工程とオゾン脱着工程の各運転時間を安定化兼昇圧工程及び冷却工程の各運転時間の2倍に設定するとともに、オゾン濃縮ユニットを構成している3本の吸着筒(2)を1/3サイクルづつずらして運転するように設定し、各吸着筒(2)の脱着工程で脱離させた高濃度オゾンをオゾン貯蔵容器(30)に貯蔵し、このオゾン貯蔵容器(30)から流量調整器(34)で流量を一定流量に調整してオゾン使用設備に供給するようにした高濃度オゾン連続発生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 13/10 A
, B01D 53/04 F
