特許
J-GLOBAL ID:200903044807833890

マイクロノズル、その製造方法、スポッティング方法及びスポッタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 勝利
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-070139
公開番号(公開出願番号):特開2002-340914
出願日: 2002年03月14日
公開日(公表日): 2002年11月27日
要約:
【要約】【課題】 多数の吐出口から多数種の溶液を各々個別の流路を通して、溶液間のコンタミネーションなしに同時に吐出し、多数のスポットを一挙に、且つ容易に形成できるマイクロノズル、その製造方法、スポッティング方法及び該マイクロノズルを装着したスポッタを提供する。【解決手段】 互いに独立した4つ以上の毛細管状の流路と各流路の吐出口及び注入口とを有するマイクロノズルであって、隣接する各吐出口の中心間距離が該吐出口の直径の4〜10000倍であり、隣接する各注入口の中心間距離が隣接する該吐出口の中心間距離より大きく、かつ注入口の直径が吐出口の直径より大きいことを特徴とするマイクロノズル、その製造方法、スポッティング方法及び該マイクロノズルを装着したスポッタ。
請求項(抜粋):
互いに独立した4つ以上の毛細管状の流路と各流路の吐出口及び注入口とを有するマイクロノズルであって、隣接する各吐出口の中心間距離が該吐出口の直径の4〜10000倍であり、隣接する各注入口の中心間距離が隣接する該吐出口の中心間距離より大きく、かつ注入口の直径が吐出口の直径より大きいことを特徴とするマイクロノズル。
IPC (4件):
G01N 35/10 ,  G01N 31/22 121 ,  G01N 33/53 ,  G01N 33/566
FI (4件):
G01N 31/22 121 P ,  G01N 33/53 M ,  G01N 33/566 ,  G01N 35/06 J
Fターム (10件):
2G042BD19 ,  2G042CB03 ,  2G042EA20 ,  2G042FB05 ,  2G042HA02 ,  2G058AA09 ,  2G058EA05 ,  2G058EA11 ,  2G058ED12 ,  2G058ED19
引用特許:
審査官引用 (9件)
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