特許
J-GLOBAL ID：200903044891234484
複数の注入口を有する化学気相成長リアクタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
三枝 英二
, 眞下 晋一
, 松本 公雄
, 谷田 龍一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-557055
公開番号（公開出願番号）：特表2008-532284
出願日： 2006年02月15日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：
化学気相成長リアクタは、チャンバ内の反応ガスを層流にするようにリアクタのチャンバと協働するウエハキャリヤと、減損を減少させるために、流量制御可能なゾーン内に構成された複数のインジェクタとを、を有する。各ゾーンは、任意選択的に、専用の流量制御装置を備え得る。したがって、各ゾーンを通る流れは、別々に制御可能である。
請求項（抜粋）：
化学気相成長リアクタであって、
前記リアクタのチャンバ内において反応ガスを層流にするのを促進するように、前記チャンバと協働するウエハキャリヤと、
前記チャンバの中央部分の近傍に配置された注入口と、
減損を減少させるように構成された複数のインジェクタと、
を備えるリアクタ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5F045AA04
, 5F045AB14
, 5F045AC08
, 5F045AC12
, 5F045AF01
, 5F045BB01
, 5F045DP15
, 5F045DQ10
, 5F045EF03
, 5F045EF13
