カーボンナノチューブの製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：日比紀彦 , 岸本瑛之助 , 渡邊彰 , 清末康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-207968
公開番号（公開出願番号）：特開2005-060131
出願日： 2003年08月20日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】反応チャンバー内に原料ガスを封じ込めることにより原料ガスの使用量を減らし、もって製品のコストダウンを達成する。【解決手段】断熱材層4 で覆われた密閉状の反応チャンバー1 と、同チャンバー1 内に配置され、かつ伝熱材で構成された内筒2 と、内筒2 内に設けられたヒータ線3 と、内筒2 に被着される保持部材5 に外装されたカーボンナノチューブ成長用の金属基材6 と、反応チャンバー1 内に設けられたガス撹拌ファン7 と、反応チャンバー1 に接続された希釈原料ガス供給管8 およびガス吸引管9 とを具備した、カーボンナノチューブの製造装置である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

断熱材層(4) で覆われた密閉状の反応チャンバー(1) と、同チャンバー(1) 内に配置され、かつ伝熱材で構成された内筒(2) と、内筒(2) 内に設けられたヒータ線(3) と、内筒(2) に被着される保持部材(5) に外装されたカーボンナノチューブ成長用の金属基材(6) と、反応チャンバー(1) 内に設けられたガス撹拌ファン(7) と、反応チャンバー(1) に接続された希釈原料ガス供給管(8) およびガス吸引管(9) とを具備した、カーボンナノチューブの製造装置。

IPC (2件)：

C01B31/02 , C23C16/26

FI (2件)：

C01B31/02 101F , C23C16/26

Fターム (19件)：

4G146AA11 , 4G146AD29 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146DA03 , 4G146DA38 , 4G146DA39 , 4G146DA47 , 4K030AA09 , 4K030AA16 , 4K030BA27 , 4K030CA02 , 4K030CA13 , 4K030CA17 , 4K030EA08 , 4K030FA10 , 4K030LA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

カーボンナノチューブ作製用触媒パターン
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-135590 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 理化学研究所, 吾郷浩樹, 湯村守雄
フラーレン類の製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-282932 出願人：三井造船株式会社
カーボンナノチューブの合成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-175498 出願人：李鉄真, 株式会社日進ナノテック

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