炭素物質、炭素物質の製造方法及び電子放出素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-100114
公開番号（公開出願番号）：特開2001-240403
出願日： 2000年02月25日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：

【要約】【課題】電子放出素子に適した炭素物質を提供すること。【解決手段】 CVD法を用いて、電気炉109によって所定温度に加熱されたチャンバ108内に、Cuによって形成された基材上にNiを被着して成る基板110を配設し、C2H4を供給すると共にフィラメント107を所定温度に加熱することにより、炭素によって構成され線径が1nm〜2μmで少なくとも一部が螺旋状に形成された炭素物質を製造する。

請求項（抜粋）：

炭素によって構成され線径が1nm〜2μmで少なくとも一部が螺旋状に形成された炭素物質。

IPC (4件)：

C01B 31/02 101 , D01F 9/127 , H01J 1/30 , H01J 1/304

FI (4件)：

C01B 31/02 101 Z , D01F 9/127 , H01J 1/30 A , H01J 1/30 F

Fターム (17件)：

4G046CA02 , 4G046CB01 , 4G046CB08 , 4G046CC06 , 4G046CC08 , 4L037AT02 , 4L037CS03 , 4L037CS10 , 4L037CS11 , 4L037CS17 , 4L037CS38 , 4L037FA03 , 4L037FA05 , 4L037PA03 , 4L037PA12 , 4L037UA20 , 5C035BB01

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-104927
コイル状炭素繊維の製造方法及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-186064 出願人：科学技術振興事業団
グラファイトファイバーの作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-210161 出願人：新技術事業団, 菊地理恵, 大木芳正

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