特許

J-GLOBAL ID：200903045095263231

感光性樹脂前駆体組成物

発明者： 富川 真佐夫 ,  諏訪 充史 ,  藤田 陽二
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153722
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338666
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性組成物を提供する。【解決手段】(a)下記一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)ダイポールモーメントが0.1デバイ以上1.6デバイ以下である少なくとも1つのフェノール化合物とナフトキノンジアジドスルホン酸をエステル化した化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(一般式(1)のR1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基を示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基を示し、R3は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数である。pとqは同時に0になることはない。)

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)ダイポールモーメントが0.1デバイ以上1.6デバイ以下である少なくとも1つのフェノール化合物とナフトキノンジアジドスルホン酸をエステル化した化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(一般式(1)のR1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基を示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基を示し、R3は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。pとqは同時に0になることはない。)

IPC (6件)：

G03F 7/037 501 ,  C08K 5/42 ,  C08L 79/04 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/037 501 ,  C08K 5/42 ,  C08L 79/04 B ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (21件)：

2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J002CM021 ,  4J002CM041 ,  4J002EV246 ,  4J002FD010 ,  4J002GJ02 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J002GQ05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-268655   出願人：東レ株式会社
• ポジ型フオトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-104541   出願人：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-085194   出願人：住友ベークライト株式会社
• ナフトキノンジアジド化合物及び感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-316653   出願人：三菱化学株式会社, コニカ株式会社