特許
J-GLOBAL ID:200903045133241590
凸型酸化膜構造体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 村山 靖彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-154765
公開番号(公開出願番号):特開2005-339883
出願日: 2004年05月25日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】多孔質金属酸化膜の構造を、例えば規則的な立体形状に制御することができ、均一な形状を有する凸型酸化膜構造体を得ることができるようにする。【解決手段】ガラス板などの基板1上に、酸化チタンなどの金属酸化物からなり、多孔質である柱状体2、2・・・が多数突設された凸型酸化膜構造体。この凸型酸化膜構造体は、アルミニウムなどを陽極酸化処理して得られた陽極酸化被膜の微細孔中にチタンアルコキシド溶液などの金属酸化物前駆体を充填し、この陽極酸化被膜を基板にその微細孔が基板に向くように重ね合わせ、ついでこれらを加熱、焼成したのち、陽極酸化被膜を除去する方法で製造される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に、金属酸化物からなり、多孔質である柱状体が多数立設されていることを特徴とする凸型酸化膜構造体。
IPC (2件):
FI (2件):
H01M14/00 P
, H01L31/04 Z
Fターム (18件):
5F051AA14
, 5F051BA17
, 5F051FA03
, 5F051FA06
, 5F051FA08
, 5F051FA21
, 5F051GA03
, 5H032AA06
, 5H032AS16
, 5H032AS19
, 5H032BB02
, 5H032BB05
, 5H032BB06
, 5H032BB07
, 5H032CC11
, 5H032EE02
, 5H032EE07
, 5H032HH04
引用特許:
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