特許

J-GLOBAL ID：200903045133629725

金属及び金属酸化物のパターン化のための研磨液及び金属及び金属酸化物のパターン化の方法

発明者： ゲルハルト バイテル ,  ベーベル ゼーバッハー ,  アネッテ ゼンガー
出願人/特許権者： インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト ,  シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-146908
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033298
出願日： 2001年05月16日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】 金属及び金属酸化物の平坦化もしくはパターン化に使用することができる化学的機械的研磨処理工程のための研磨液。【解決手段】 本発明による研磨液は、a)水又は水/アルコール混合物、b)多結晶性ダイヤモンド粉体及びc)酸化剤、錯形成剤、界面活性剤及び有機塩基のグループから選択された少なくとも1種の添加剤を含有する。【効果】 本発明による研磨液を用いることにより、金属及び金属酸化物の平坦化もしくはパターン化の際にその除去率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

化学的機械的研磨による、金属酸化物及び金属、殊に周期律表の第8b族の元素の殊に平坦化及び/又はパターン化のための研磨液において、a)水又は水/アルコール混合物、b)多結晶性ダイヤモンド粉体及びc)酸化剤、錯形成剤、界面活性剤及び有機塩基のグループから選択された少なくとも1種の添加剤を含有することを特徴とする、研磨液。

IPC (6件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (6件)：

H01L 21/304 622 D ,  H01L 21/304 622 X ,  B24B 37/00 H ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 F ,  C09K 3/14 550 Z

Fターム (9件)：

3C047FF08 ,  3C047GG15 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウエハーまたは基板材料の再生方法および再生設備
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-041904   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 半導体装置および半導体基板の研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-154163   出願人：株式会社日立製作所
• 研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-151517   出願人：株式会社東芝